中国科大微电子学院
当前位置:首页  师资队伍  院士
  

吴汉明

邮箱:hanmingwu@zju.edu.cn

进入个人主页

经历:

简介:

教授,博士生导师,中国工程院院士。


研究方向:1、先进芯片大生产关键技术;2、特殊SOC芯片设计技术;3、大生产芯片的可靠性研究。主要从事高密度等离子体深亚微米刻蚀研究,研发了世界上第一套等离子体工艺模拟的商业软件并得到广泛使用。2001年进入中芯国际集成电路制造有限公司后,组建了先进刻蚀技术工艺部,在中国实现了用于大生产的双镶嵌法制备工艺,为中国首次实现铜互连提供了工艺基础。

发表论文100多篇;申报发明专利84项,其中国际专利24项;国家十一五02重大专项项目总负责人;国家十二五重大专项项目首席科学家;国家973项目首席科学家。



荣誉:

2008年国家科技进步奖二等奖(第二完成人)、2013年国家科技进步奖二等奖(第一完成人)。中国工程院院士(2019)、第五届全国杰出专业技术人才(2014)、北京学者(2013)




Copyright © 中国科学技术大学国家示范性微电子学院 All Rights Reserved.
联系电话: +86-0551-63601801 / +86-0551-63600932