2026年7月15日，中国科学院微电子研究所研究员、中国科学院大学教授陈宝钦受邀开展专题讲座，以“先进光刻技术与电子束光刻技术”为核心，结合六十年科研深耕历程，为广大研究生及青年学子带来一场兼具技术深度与人文温度的学术分享，助力青年学子深耕微电子领域、传承科研初心。本次讲座由中国科学技术大学集成电路学院、微纳电子系统集成研究中心、信息科学技术学院等单位联合主办，由龙世兵教授主持。

  在两个小时的讲座中，陈宝钦老师系统梳理了我国微光刻与电子束光刻技术的发展脉络，细数了国内光刻技术从无到有、从落后追赶至局部接近的攻坚历程。从1968年依托手术刀、显微镜手工刻制版图，到半自动、全自动光学光刻迭代升级，再到纳米级电子束直写技术突破，他结合亲身经历，详细讲解了光刻工艺从10微米到2纳米的精度跨越，揭秘了微光刻技术作为芯片制造“珠穆朗玛峰”的技术难点与突破路径。同时，他展示了团队在光刻分辨率增强、电子束制版、纳米微加工等领域的多项科研成果，以及相关技术在航天、北斗、嫦娥等国家级重大工程中的落地应用。

  除硬核技术分享外，陈宝钦老师结合自身成长与科研经历，传递了质朴深刻的治学与做人道理。作为寒门出身的第一代大学生，他深耕光刻领域六十载、坚守科研教学岗位五十年，历经学工、学农、科研攻坚的多重磨砺，始终秉持“老老实实做人、踏踏实实做学问、勤勤奋奋做事”的准则。他坦言，平凡岗位的坚守、点滴细节的打磨，正是科研突破的根基，做好每一件平凡事，便是最不平凡的坚守。

  讲座最后，陈宝钦老师创新性以魔方为教具，讲解复杂的物理规律、晶体结构与数理逻辑，生动阐释学习力、创造力的培养方法，打破硬核科研的刻板印象，让青年学子直观理解科研探索的规律与乐趣。同时，他分享了自己数十年科普育人的经历，年过八旬仍坚守教学与科普一线，担任科技志愿者，深耕青少年微电子科普工作，致力于为我国微电子领域培育后备人才。

  此次讲座兼具学术价值与育人意义，既让学子们系统了解了先进光刻技术的发展现状与前沿趋势，拓宽了学术视野，更让大家深切感受到老一辈科研工作者淡泊名利、深耕实干、薪火相传的科研精神。参会学子纷纷表示，将以老一辈科研前辈为榜样，深耕专业、潜心钻研，勇于攻坚克难，努力成长为微电子领域的创新人才，助力我国芯片产业自主创新发展。

文/尹浩然 图/徐光伟